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精密儀器種類繁多、結(jié)構(gòu)各異。對于用于測量的精密儀器而言，可將其結(jié)構(gòu)分為基準(zhǔn)、感受轉(zhuǎn)換、轉(zhuǎn)換放大傳輸、瞄準(zhǔn)/讀數(shù)、數(shù)據(jù)處理、顯示記錄、驅(qū)動控制、機械結(jié)構(gòu)等八大功能部件。但并不是說一臺精密儀器中必須包含上述八大功能部件，而是應(yīng)根據(jù)儀器功能的要求有所選擇。

1．基準(zhǔn)部件

基準(zhǔn)部件為測量提供標(biāo)準(zhǔn)量，測量結(jié)果均須與之比較方能得到準(zhǔn)確的測量值。因此，它是決定精密儀器精度的主要環(huán)節(jié)。

基準(zhǔn)器件的種類很多，如用于幾何量（長度和角度）測量的標(biāo)準(zhǔn)器件：量塊、精密測量絲杠、線紋尺、度盤、多面棱體、多齒分度盤、光柵尺（盤）、磁柵尺（盤）、感應(yīng)同步器、光波等。對于復(fù)雜參數(shù)，有漸開線樣板、表面粗糙度樣板等標(biāo)準(zhǔn)件，還有提供標(biāo)準(zhǔn)運動的標(biāo)準(zhǔn)圓運動、漸開線運動和齒輪運動裝置。此外還有標(biāo)準(zhǔn)硬度塊、頻率計，以及時間、照度、流量、色度、激光參數(shù)、溫度、測力、稱重等標(biāo)準(zhǔn)。可根據(jù)需要選取。

2．感受轉(zhuǎn)換部件

感受轉(zhuǎn)換部件感受被測量，拾取原始信號以便進(jìn)一步轉(zhuǎn)換、處理和分析。其精度直接影響整個儀器的精度。

有的儀器的感受轉(zhuǎn)換部件僅起感受原始信號的作用，有的同時還進(jìn)行一次信號的轉(zhuǎn)換。感受轉(zhuǎn)換部件有兩大類：一類為接觸式的，如各種機械式探頭；一類為非接觸式的，如氣動非接觸測頭、光學(xué)探頭、紅外線、渦流測頭、拾音器等。