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1．機(jī)械技術(shù)

儀器各部分的安裝固定，儀器測(cè)量精度、定位精度和運(yùn)動(dòng)精度的保證，由精密機(jī)械系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)和完成。精密儀器的測(cè)量控制對(duì)象也通常為機(jī)械結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)量。

2．電子技術(shù)

實(shí)現(xiàn)信號(hào)的轉(zhuǎn)換、傳輸、放大。研究對(duì)象包括：

①測(cè)量電路：實(shí)現(xiàn)信號(hào)的轉(zhuǎn)換。

②計(jì)算機(jī)控制：包括信號(hào)處理分析，以及在此基礎(chǔ)上的自動(dòng)控制（發(fā)出控制指令）。

③伺服驅(qū)動(dòng)：電子與機(jī)械部分的接口，按控制指令的要求控制被控對(duì)象實(shí)現(xiàn)預(yù)定的動(dòng)作。

3．光學(xué)技術(shù)

利用各種光學(xué)原理，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)量的轉(zhuǎn)換、放大、投影、顯示、傳輸?shù)取鹘y(tǒng)的光學(xué)系統(tǒng)是與機(jī)械技術(shù)相結(jié)合實(shí)現(xiàn)其功能的，現(xiàn)代的光學(xué)系統(tǒng)又結(jié)合了電子技術(shù)，實(shí)現(xiàn)光學(xué)信息的處理和控制。

光、機(jī)、電技術(shù)相結(jié)合進(jìn)一步擴(kuò)大了現(xiàn)代精密儀器的應(yīng)用領(lǐng)域。